为防治大气污染，排入大气的废气必须进行净化处理，以达到排放标准。在可能的情况下，回收也应被视为将危害转化为财富。由于暂时缺乏对某些危险气体的有效处理，高烟囱排放物也可用于在高空扩散污染物，并在更大范围内稀释。这种方法并没有减少排入大气的污染物总量。净化有害气体的方法有四种：燃烧、冷凝、吸收和吸附。
一、燃烧法
燃烧过程是将废气中的烃有效转化为二氧化碳和水的热氧化工艺，以及其它组分，如卤素或含硫有机物，也可转化为允许排放到大气中或易于回收的物质。燃烧法广泛应用于有机溶剂蒸气和碳氢化合物的净化以及脱臭。用于通风排气的燃烧法有两种:热力燃烧和催化燃烧。
（1）热力燃烧。热力燃烧是在明火下的火焰燃烧，但通风排气中的可燃气体浓度一般较低，燃烧氧化后放出的热量不足以维持燃烧，需要依靠辅助燃料。热力燃烧的反应温度为600～800℃，工程设计时通常取760℃，滞留时间为0.5s。目前在国内主要利用锅炉燃烧室或生产用的加热炉实现。利用锅炉进行热力燃烧应注意以下问题:
1、处理的废气量应小于燃烧炉所需的鼓风量；
2、废气中的含氧量应与空气中的含氧量相似，如低于18%，则应分别补充空气；
3、废气中不宜含有腐蚀性气体或颗粒物。
（2）催化燃烧。利用催化剂加快燃烧速度的燃烧过程称为催化燃烧，即利用催化剂在低温下实现对有机物的完全氧化。臭味物质多属有机物，因而催化燃烧还可以用于除臭。含有有机物的废气经预处理除去粉尘或其他催化剂毒物（能使催化剂活性迅速下降的物质称为催化剂毒物）后，由风机送入热交换器，回收排出废气中的余热。随后送入预热器预热到起燃温度（250～300℃），再进入催化床反应器进行氧化反应，即所谓完全燃烧。净化后的废气（400～550℃）再经热回收器放出部分余热后排空。
采用燃烧法处理有机废气，特别是热力燃烧，必须采取各种安全措施，如控制废气中可燃物浓度、防止火焰蔓延、在可能爆炸处设泄压薄膜等，同时严格操作规程、设计各种自动报警、检测和控制调节装置也是十分必要的。
二、冷凝法
液体加热蒸发产生的有害蒸汽可以通过冷凝从废气中分离出来。该方法提纯效率高，仅适用于高浓度、高冷凝温度的有害蒸汽。
三、吸收法
低浓度气体的净化通常采用吸附法和吸附法。它们是通风排风中有害气体的主要净化方法。
当适当的液体与混合气体接触并且气体在液体中的溶解度不同时，除去一个或多个组分的过程称为吸收。吸收操作广泛用于有害气体的净化，特别是无机气体，如硫氧化物、氮氢化物、硫化氢、氯化氢等。可同时除尘，适用于处理大气量的情况。与其它净化方法相比，成本较低。吸收法的缺点是可以处理排水，净化效率很难达到100%。
吸收分为物理吸收和化学吸收。物理吸附一般没有明显的化学反应，可视为一个简单的物理溶解过程，如氨水吸附。物理吸收是可逆的，在解吸过程中不会改变吸收气体的性质。化学吸收则伴有明显的化学反应。化学吸收的效率要比物理吸收高，特别是处理低浓度气体时。要使有害气体浓度达到排放标准要求，一般情况下，简单的物理吸收是难以满足要求的，常采用化学吸收。
四、吸附法
使通风废气与某种固体物质接触并利用固体物质的吸附能力去除某些有害成分的过程称为吸附。吸附用固体材料称为吸附剂，吸附气体称为吸附剂。
五、有害气体高空排放
环境保护是一门新兴的科学，某些有害气体至今仍缺乏经济有效的净化方法，在不得已的情况下，只好将未经净化或净化不完全的废气直接排入高空，通过在大气中的扩散进行稀释，使降落到地面的有害气体浓度不超过卫生标准中规定的“居住区大气中有害物质最高容许浓度”。
