①洁净室内墙壁和顶棚的表面应平整、光滑、不起尘,避免眩光、便于除尘,并应减少凹凸面。②踢脚不应突出墙面。③洁净室不宜采用砌筑墙抹灰墙面,当必须采用时宜干燥作业,抹灰应采用高级抹灰标准。墙面抹灰后应刷涂料面层,并应选用难燃、不开裂、耐清洗、表面光滑、不易吸水变质发霉的涂料。
洁净厂房技术夹层的墙壁和顶棚表面应平整、光滑,位于地下的技术夹层应采取防水或防潮、防霉措施。
墙面的主要材料是涂料、板材和卷材。涂料有醇酸磁漆和乳胶漆，前者的质量好，适用于高洁净度的房间，施工过程高，成本高，后者快干，可在非干墙基层施工。也有过氧化搪瓷，耐酸，耐碱，耐热，适用于化学腐蚀性气体。板材有金属墙板、瓷板、铝板等。卷材有塑料涂层墙纸和玻璃纤维墙纸。
顶棚材料的选择主要取决于气流形式。一般可使用彩钢夹芯板、镀锌钢板、轻质铝合金板等。洁净度严格的垂直单向流洁净室顶棚由铝合金或不锈钢骨架、高效过滤器、盲板和钢结构组成，不仅有利于过滤器的安装，同时可以根据工艺生产的要求，对洁净区进行分离和合理的气流组织，还可以保证室内的美观和照明均匀。顶棚是洁净室的主要部分，其形式为流型、照明布置、送风装置和结构。一般可分为有送风功能的吊顶和无送风功能的吊顶。后者的结构相对简单。屋顶的表面材料需要平整、清洁，不积累灰尘。具有送风功能的天花板非常复杂。它需要同时满足供风系统和照明系统的功能要求。送风系统的气密性性能既要得到保持，而且送风系统中安装的部件又要得到很好的处理，所以是很复杂。
