净化工程质量验收时，应满足防火、保温、隔热、防静电、隔振、降噪等要求。应确保洁净室气密性要求，材料表面不应产尘、不吸附微粒、不积尘。应采用不霉变、防水、可清洗、易清洁和不挥发分子污染物的材料。洁净厂房的工程验收中,在进行各项性能检测之前,净化空调系统应正常运行24h以上.达到稳定运行状态。洁净室综合性能验收应由建设单位组织，由施工单位配合，请有资格的检测单位（第三方）进行综合性能全面评定检测。该项工作应在洁净室各系统已调试完成，稳定运行24h以上，且洁净室竣工验收合格后方可进行。检测前应再次全面清洁洁净室。
洁净厂房测试应按工程验收阶段分段进行，施工验收阶段的检测是确认各项设施符合工程设计和合同的要求。
检测用仪器仪表均应经过具有相应资质的单位进行标定，并在标定有效期内。
地面面层必须平整，其不平整度不应大于0.1%。在做卷材面层或涂料面层时应考虑与垂直壁板交界处的密封。
