10万级半导体净化车间的指标，包括粒子数、换气次数、空气净化时间这3项指标。其中，车间内每立方米空气中直径≥0.5μm粒子数≤352万个，每小时换气次数≥15次，且完全换气后空气净化时间≤40分钟。不论是电子行业、食品行业还是医疗器械、印刷包装行业都有10万级净化车间，那10万级半导体净化车间如何装修呢?
10万级半导体净化车间装修要考虑国家规范标准、区域划分、空调机组、冷水机组、通讯与消防设备等因素。
10万级半导体净化车间装修必须遵守《采暖通风与空气调节设计规范GBJ50019-2003》、《净化厂房设计规范GB50073-2001》、《净化室施工及验收规范JGJ71-90》、《通风与空调工程施工质量验收规范GB50243-2002》、《制冷设备安装工程施工及验收规范GB50210-2001》、《民用建筑工程室内环境污染控制规范GB50325-2001》等规范标准。
1、区域划分：包括清洁作业区、准清洁区、一般作业区这3个区域。
2、空调机组：主指净化空调系统，可把机房设立在净化车间侧面，便于风道布置与节能。注意，在北方地区，要在机组上安装新风预热段。而在南方地区，无需采取这项措施，只要采用初效过滤即可。
3、冷水机组：分为风冷式、水冷式这2类。为了正常调节风压与控制风量，必须在冷水机组上安装一套完整的自控装置才行。
4、通讯与消防设备：通讯设备的用处是减少不必要的人员走动，以便控制发尘量。消防设备的用处则是能快速、有效的处理火灾事故。
10万级半导体净化车间机动灵活，既适合在新建厂房配套安装，也适宜老净化车间厂房的净化技术改造。维修结构也可随工艺要求任意组合，拆卸方便。净化车间需要辅助建筑面积较小，对土建筑装修要求低。净化车间气流组织形式灵活、合理，可满足各种工作环境、不同洁净等级的需要。
