一、洁净室设计之人员净化

在洁净厂房内众多的污染源中,人是主要的污染源之一,尤其是工作人员在洁净环境中

的活动,会明显地增加洁净环境的污染程度。

集成电路生产中硅片污染源随着芯片生产过程的自动化和微环境技术的日益广泛应用,洁净室技术性能的不断提高和洁净服技术的进步,其比率正逐渐变化。人员对芯片微粒污染比率逐渐减少,而设备、生产工艺过程所占比率逐渐增加,对人员的净化要求随所生产的产品对环境洁净度要求的不同而不同,在工作入员进入洁净室前必须按规定的程序进行人身净化、人员净化应循序渐进,有一个合理的程序,避免已清洁的部分再被脏的部分所污染。

二、洁净室设计之人员净化用室及生活用室

人员浄化用室,应包括雨具存放、换鞋、管理、存外衣、更洁净工作服等房问。厕所、盥洗室、淋浴室、休息室等生活用室以及空气吹淋室、气闸室、工作服洗涤和干燥间等其他用室,可根据洁净室的用途、产品生产要求和具体设计的实际情况确定是否设置所有进入洁净室的人员必须在换鞋处净鞋或换鞋,目的在于使净化用室入口处不致受到严重污染,多数洁净厂房人员入口前设有擦鞋、水洗净鞋、粘鞋垫、换鞋、套鞋等净鞋措施。

为了保护人员浄化用室的清洁,最彻底的办法是在更衣前将外用鞋脱去,换上清洁鞋或鞋套。现有洁净厂房工作人员都执行更衣前换鞋的制度,其中不少洁净厂房对换鞋方式作了周密考虑,换鞋设施的布置考虑了外用鞋与清洁鞋接触的地面要有明确的区分,避免了清洁鞋被外用鞋污染,例如跨越鞋柜式换鞋,清洁平台上换鞋等都有很好的效果。

外出服在家庭生活及户外活动中积有大量微尘和不洁物,服装本身也会散发纤维屑,更衣室将外出服及随身携带的其他物品存放于专用的存衣柜内,避免外出服污染洁净工作服。

手是交又污染的媒介,人员在接触工作服之前洗手是十分必要的。操作中直接用手接触洁净零件、材料的人员可以戴洁净手套或在洁净室内洗手。

洗净的手不可用普通毛巾擦抹,因为普通毛巾易产生纤维尘,最好的办法是热风吹干,电热自动烘手器就是一种较好的选择。

洁净区设置厕所不仅容易使洁净室受到污染,还会影响洁净室(区)的压差控制,所以最好不要在洁净厂房的人员净化用室的范围内设厕所,如果确需在人员净化用室内设置时,应设在盥洗室之前,厕所前增设前室,供人厕前更衣、换鞋用,同时室内应连续排风,以免臭气、混气进入洁净区。

三、洁净室设计之人员净化用室的布置

人员净化用室和生活用室通常设在洁净厂房的人员人口处,两部分房间可有置在一起统一安排,遵循空气洁净度等级的要求,由外至内逐步提高和入员净化循序渐进。净鞋措施应设在人员净化用室的人口处;存外衣和更换洁浄服应分别设置,外衣存放柜应按设计人数每人设柜,洁净工作服宜集中挂入带有空气吹淋的洁净柜内;空气吹淋室应布置在紧邻洁净室的人员入口处,即穿过空气吹淋室就进人到洁净室,通常空气吹淋室是与洁净工作服更衣室紧邻布置;当设气闸室时,气闸室应布置在洁净室人员入口处,气闸室的两道门不应同时开启,应设连锁装置进行控制。

所以洁净室设计必须要做好人员净化和生活用室，才能保证洁净室的洁净度达标。