一、集中送风方式

这种方式一般是采用数台大型新风处理机组和净化循环机组集中设置在空调机房内,空调机房可位于洁净室的侧面或顶部。经过温度、湿度处理和过滤后的空气由离心风机或轴流风机加压后通过风道送入送风静压箱,再经由高效过滤器或超高效过滤器过滤后送入洁净室。回风经格栅地板系统,流入回风静压箱再回到净化循环系统,如此反复循环运行。

二、隧道洁净室送风方式

这种送风方式一般把洁净室划分为生产核心区、维护区,生产核心区要求高洁净度和严格的温、湿度控制,设在单向流送风区内;维护区要求较低,设置生产辅助设备或无洁净要求的生产设备的尾部和配管配线等。生产区为送风区,维护区为回风区,构成空气循环系统。一般隧道式送风是由多台循环空气系统组成,所以其中一台循环机组出现故障不会影响其他区域的生产环境洁净度,并且各个循环系统可根据产品生产需要进行分区调整控制。

三、风机过滤单元送风方式

这是在洁净室的吊顶上安装多台风机过滤单元机组,构成净化循环机组,不需要配置净化循环空调机房,送风静压箱为负压。空气由FFU送到洁净室,从回风静压箱经两侧夹道回至送风静压箱,根据洁净室的温度调节需要,一般在回风夹道设干式表冷器。新风处理机可集中设在空调机房内,处理后新风直接送入送风静压箱。因送风静压箱为负压,有利于高效过滤器顶棚的密封;但由于FFU机组台数较多,在满布率较高时,一般投资较大,运行费用亦多,有的FU噪声较大,选用时需要注意。

四、模块式风机单元送风方式

它是由送风机安装在HEPA或ULPA之上,1台送风机可配数台高效过滤器的空气循环系统,这种模块式风机单元循环系统是无风管道方式,空气输送速度较低,送风机和过滤器维修较方便,能量消耗较少。

五、微环境+开放式洁净室的送风方式

这种方式是为了确保日益要求生产环境极为严格的半导体芯片生产的关键工序或设备的微环境控制达到高洁净度等级(如0.05~0.1μm,ISO1级),而其周围的开放式大面积洁净环境仅保持在相对较差的洁净度等级(如ISo5级或ISO6级),微环境内控制洁净度严格的单向流洁净环境,而开放式洁净室为单向流或混合流洁净室。这种方式的能量消耗较少工艺布置灵活性好,建设投资和运行费用都可以降低。