一、工业洁净室电气设备

近年来，以电子设备为代表的高技术产业飞速地向前发展着，在这些最先进的技术领域中，日新月异地进行技术革新，并把产品的微细化、高质量化、超精密化作为目标，而且为了谋求生产的高效率、高质量而建造高质量的洁净室。

用于超大规模集成电路（VLS1）、钟表、精密机械、光学仪器及电子仪器等制造、加工或装配、食品生产的各类洁净室，根据生产用途不同，而使用各种各样的设备。超大规模集成电路制造工厂的生产设备，因为有下述各种情况，必须精心设计、精心施工。

1、消耗电力大；

2、防振动；

3、防静电；

4、防电磁波干扰；

5、需要实行特殊接地；

6、要不停电电源

7、电压波动、频率变化小；

8、需要特殊电压

在洁净室的电气设备中，特别重要的问题是为确保产品的质量和成品率的提高，而应把作业空间的洁净度稳定地维持在一定的水平上。为此，必须遵守不产生灰尘、不积存灰尘、不带入灰尘的三原则。

①不产生灰尘

·电机、通风机的皮带等旋转部分应选用耐磨性好，表面不产生剥离的材料；

·电梯等垂直运输机械或水平机械的导轨、钢丝绳的表面应不产生剥离。

②不积存灰尘

·墙面上安装的配电盘、控制盘、开关等应尽量做成暗装式，尽量采用凹凸少的形状；

·配线管等以暗装为原则，在必须明装的情况下，无论如何也不要在水平部分明装，只能在垂直部分明装；

·在配件必须明装的情况下，外表楞角要少且光滑，以便清扫；

·根据消防法规设置的安全口指示灯、疏散标志灯，需要采取不易积尘的结构；

·墙壁、地板等因为人或物的移动、空气的反复摩擦会产生静电而吸附灰尘，所以必须采取防静电地板、防静电装修材料和接地等措施；

·照明灯具因为换灯管灯泡要定期地进行维修，所以在构造上要考虑更换灯管灯泡时使灰尘不致落人洁净室内。

③不带入灰尘

·在施工中使用的电线管、照明灯具、探测器、开关等应在进行充分清洗后再使用。另外，必须特别注意对电线管的保管。

·安装于洁净室顶棚、墙壁上的照明灯具、开关、插座等周围的贯通部位必须密封，使之不侵人不洁的空气。贯通于洁净室的电线、电缆的保护管在穿墙、穿地面和穿顶棚处必须密封。

二、生物医药食品类洁净室的电气设备

生物医药类洁净室主要用于药品、生物制品、食品、化妆品和动物实验设施等领域。这类洁净室不仅要对空气中的微粒进行控制，而且更主要的还应对空气中微生物进行控制。所谓微生物，主要包括细菌、病毒等生物医药类洁净室的电气设备原则上与前述的电子类洁净室采取类似的措施，但为了对微生物进行控制，所以对空气（包括排气）和设备应进行灭菌、消毒等，在选择电气设备时应充分考虑这些因素。

三、洁净室的防爆电气设备

在制造半导体的洁净室和制造药品、生物制品、食品的洁净室中，常常大量使用有机溶剂。在制造粉末药品或食品的工厂中，有产生粉尘爆炸的危险性。因而，在各种产品的制造过程中，要求有气体防爆、粉末防爆措施。在这种情况下，这类洁净室的电气设备除应满足上述洁净室的三原则外，还必须采取各种防爆措施。

四、使用放射性物质的洁净室的电气设备

有放射性的物质的洁净室，通常是用于制造医疗用放射性物质的场所。放射性物质的洁净室的主要问题是其措施好坏与产品的质量、人的健康有关，所以应明确地分隔成管理区域和非管理区域。管理区域与洁净室一样要形成屏障，为了使放射性物质不向屏障外泄漏（当然也包括各个房间之间不能泄漏），在屏障的贯通部位必须用硅密封材料进行密封。